集成電路(lù)學院集成電路(lù)工藝與測試公共平台是一(yī)個針對集成電路(lù)領域的共享資源和合作(zuò)交流平台，旨在促進探索新(xīn)材料、發現新(xīn)原理(lǐ)、開發新(xīn)器(qì)件，爲高校(xiào)、科研機構和企業的科學研究以及産品研發提供硬件支撐和保障。平台位于軟件園校(xiào)區，擁有500餘平米的千級超淨實驗室與200平米的普通環境實驗室，所配備的大型儀器(qì)可以進行整套微納工藝制作(zuò)，擁有國際先進的最低(dī)8 nm高精度加工平台、國内領先的750 GHz太赫茲探針測試系統、刻蝕設備、完備的半導體薄膜、介質薄膜、金(jīn)屬薄膜生(shēng)長儀器(qì)及多物理(lǐ)環境器(qì)件光、電、形貌等性能(néng)測試儀器(qì)，總價值約5000餘萬元。平台擁有專職技術團隊提供微納加工方案協助、工藝制備、器(qì)件及物性測試服務，開設實操儀器(qì)培訓，推動…